안승욱 티로보틱스 대표 “OLED 이송 기술로 TGV 유리기판 시장 공략”

티로보틱스(T-Robotics)는 반도체·디스플레이 제조공정용 진공로봇·이송모듈 개발 기업으로, 대형 OLED 생산라인에서 축적한 진공·정밀 이송 기술을 보유하고 있다. 최근 AI 반도체·첨단패키징 투자가 확대되면서 티로보틱스는 기존 디스플레이 장비 기술의 적용 범위를 유리기판·패널레벨패키징(PLP) 분야로 확장하고 있다.

티로보틱스(T-Robotics)는 해당 기술의 적용처를 차세대 반도체 패키징용 유리기판 시장으로 확대하고 있다. 국내에서는 반도체 장비업체와 제품 평가를 진행하고 있다.

중국에서는 디스플레이 시장에서 확보한 고객 기반을 보유하고 있으며, 이를 활용해 중국 현지 유리기판 장비 시장 진입을 추진하고 있다. 티로보틱스(T-Robotics)는 기존 고객 기반을 바탕으로 중국 시장 공략에 나서고 있다.

안승욱 티로보틱스 대표는 10월 27일 중국 선전 'C-터치 앤 디스플레이 선전 2026' 현장에서 발표했다. 안승욱 티로보틱스 대표는 이 자리에서 TGV(유리관통전극) 유리기판용 로봇 개발 현황과 향후 사업 전략을 설명했다.

회사는 전시에서 유리기판용 진공 이송로봇·비접촉 대기로봇을 출품하며 유리기판 이송을 위한 진공·비접촉 로봇 기술을 함께 제시했다. 출품 품목에는 대형 유리기판을 대상으로 하는 PLP용 EFEM도 포함됐다.

PLP용 EFEM은 기판 하부에 진공 방식을 적용하고 상부에는 비접촉 방식을 적용했다. 별도 유리기판 이송용 진공로봇은 6축 구조를 갖췄으며, 포크를 포함해 하중 20kg에 대응한다. 또 X·Y·Z축 반복정밀도는 ±0.3mm 수준이며, 평행링크 기반 구조를 적용했다. 이 평행링크 기반 구조로 진공 환경에서 다방향 기판 이송이 가능하다.

유리기판은 기존 반도체 웨이퍼 대비 대형·중량화될수록 하중·처짐·진동의 관리가 중요해진다. 안 대표는 기존 반도체 웨이퍼는 매우 가벼운 반면 대형 유리기판의 무게는 10kg을 초과한다며, 고하중을 견디는 로봇 기술이 필요하다고 설명했다.

티로보틱스는 진공 챔버 내부용 이송로봇과 대기 구간용 비접촉 로봇을 동시 개발하고 있다. 대기 환경 이송 방식은 공기로 유리기판을 약 0.2mm 부상시키는 방식이며, 기판과 로봇 핸드의 직접 접촉을 줄이는 것이 목적이다.

회사는 대형 OLED 생산라인에서 쌓은 진공 이송 경험을 핵심 기반으로 삼고 있다. 기술 기반은 대형 OLED 생산라인 이송 경험이며, 티로보틱스는 4세대~10.5세대 이상 디스플레이 공정용 진공 이송로봇을 공급해 왔다.

특히 8.6세대 OLED 공정에서 대형 원판·마스크의 고진공 환경 취급 기술을 축적했다. 8.6세대 OLED용 진공 이송로봇은 포크 제외 최대 하중 240kg을 처리하고, 최대 500℃ 환경에 대응하며, 5축 구조를 갖췄다. 또한 X·Y·Z축 반복정밀도는 ±0.5mm다. 안 대표는 8.6세대 OLED 공정에서 200kg 규모 마스크·원판 취급을 통해 고하중 정밀 제어 기술을 축적했다고 밝혔다.

이 같은 고하중·고온·진공 환경 이송 경험은 유리기판 장비 개발에 활용되고 있다. 안 대표는 해당 경험을 바탕으로 유리기판 공정용 진공·비접촉 이송 기술을 개발 중이라고 설명했다.

티로보틱스는 진공로봇·비접촉 대기로봇 동시 공급 전략을 추진하고 있다. 진공로봇은 진공 챔버 내부에서 기판을 이송하는 역할을 맡고, 비접촉 대기로봇은 챔버 외부에서 기판을 취급하는 역할을 한다. 회사는 유리기판 공정을 적용 대상으로 삼아 대기 구간용·진공 구간용 이송장비를 연계하는 구상을 하고 있다.

안 대표는 진공 챔버 내부 이송용 진공로봇과 외부 로드락 챔버 연계 비접촉 대기로봇을 동시에 공급할 수 있다고 밝혔다. 티로보틱스는 이를 통해 진공 구간과 대기 구간에 필요한 로봇을 묶어 공급하는 방식으로 대응 범위를 넓히려는 것으로 전해졌다.

티로보틱스는 관련 로봇 구조 특허 등록을 한국·미국·중국·일본에서 완료했다. 기술 개발 단계는 고객 평가 단계에 진입한 상태다.

현재 티로보틱스는 국내 주요 반도체 장비업체들과 성능 평가를 진행 중이다. 평가 방식은 진공·대기 로봇 결합 형태다. 안 대표는 구체 내용은 비공개지만 국내 주요 반도체 장비업체들과 진공 및 대기 로봇 결합 평가를 진행하고 있다고 밝혔다.

티로보틱스는 국내 평가와 병행해 중국 시장 진출을 추진하고 있다. 티로보틱스는 디스플레이 장비 사업을 통해 BOE·CSOT·티안마 등 중국 패널업체와 거래 관계를 구축했으며, 중국에 진공로봇 700대 이상을 공급했다. 회사는 기존 고객망과 현지 사업 경험을 유리기판 분야에 연계할 계획이다. 안 대표는 BOE·CSOT·티안마 등 중국 주요 디스플레이 패널업체와의 거래 관계를 바탕으로 중국 유리기판 고객사와의 협력을 추진하고 있다고 밝혔다.

중국에서는 8.6세대 IT용 OLED 투자가 진행되고 있다. 중국에서는 유리기판 기반 첨단패키징 관련 설비 투자도 진행되고 있다. 이러한 흐름 속에서 티로보틱스는 중국 디스플레이 장비 사업에서 확보한 고객 관계와 공급 실적을 바탕으로 유리기판 사업까지 확장하려 하고 있다.

이번 전시에서는 유리기판 가공·증착·라미네이션·검사·이송 관련 장비가 동시에 소개됐다. 유리기판 기술은 시험라인과 고객 평가 단계로 진전했다. 이에 따라 이송장비 업체의 참여 영역도 확대되고 있다.

티로보틱스는 디스플레이 장비 분야에서 쌓은 기술과 공장 자동화 경험을 바탕으로 적용 영역을 반도체 패키징·물류 자동화로 넓히고, 유리기판·자율주행 물류로봇(AMR)으로 신사업 확대에 나선다. 회사는 디스플레이용 진공로봇 기반 정밀 제어 기술과 공장 자동화 경험을 바탕으로 확대 분야를 반도체 패키징·물류 자동화로 설정했으며, 이를 통해 사업 구조 다변화를 추진할 계획이다.

유리기판 사업의 다음 단계는 진행 중인 고객 평가를 실제 공급 전환으로 이어가는 것이다. 이 과정에서는 국내 장비업체와의 검증과 중국 디스플레이 시장에서 구축한 고객망을 활용할 수 있는 요소로 보고 있으며, 이에 따라 사업 범위를 기존 디스플레이 장비에서 반도체 첨단패키징 장비로 확대할 전망이다.

출처: 테크월드뉴스 · 김승기 기자
원문: https://www.epnc.co.kr/news/articleView.html?idxno=409142

참고자료

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