安承旭 T-Robotics 代表：「以 OLED 移載技術搶攻 TGV 玻璃基板市場」
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✦ AI 摘要
T-Robotics 是半導體與顯示器製造製程用真空機器人與移載模組開發企業，正以在大型 OLED 生產線累積的真空與精密移載技術為基礎，將應用範圍擴大至玻璃基板與 PLP 領域。
公司展出玻璃基板用真空移載機器人、非接觸式常壓機器人與 PLP 用 EFEM，並說明面向大型玻璃基板移載的高負載、高精度技術。
T-Robotics 正與國內主要半導體設備業者進行真空與大氣機器人結合評估，同時憑藉與 BOE、CSOT、天馬等的交易關係，以及已向中國供應 700 台以上真空機器人的基礎，推動進入中國玻璃基板市場。
T-Robotics 是半導體與顯示器製造製程用真空機器人與移載模組開發企業，擁有在大型 OLED 生產線累積的真空與精密移載技術。隨著 AI 半導體與先進封裝投資擴大，T-Robotics 正將既有顯示器設備技術的適用範圍擴展到玻璃基板與 PLP 領域。
T-Robotics 正將該技術的應用對象擴大到下一代半導體封裝用玻璃基板市場。在國內，公司正與半導體設備業者進行產品評估。
在中國，公司掌握在顯示器市場建立的客戶基礎，並以此推進進入當地玻璃基板設備市場。T-Robotics 正以既有客戶基礎為本，展開中國市場攻勢。
10月27日，安承旭 T-Robotics 代表在中國深圳舉行的「C-Touch & Display Shenzhen 2026」現場發表。他在現場說明了 TGV 玻璃基板用機器人的開發現況，以及未來的事業策略。
公司在展會上展出玻璃基板用真空移載機器人與非接觸式常壓機器人，同時呈現用於玻璃基板移載的真空與非接觸機器人技術。展出項目也包含面向大型玻璃基板的 PLP 用 EFEM。
PLP 用 EFEM 在基板下方採用真空方式，上方則採用非接觸方式。專用玻璃基板移載真空機器人採 6 軸結構，包含叉具在內可承受 20kg 負載。另有 X·Y·Z 軸重複精度達 ±0.3mm，並採用平行連桿式結構。這種平行連桿式結構可在真空環境下進行多方向基板移載。
與既有半導體晶圓相比，玻璃基板愈大型、愈重時，負載、撓曲與振動的管理就愈重要。安代表說，既有半導體晶圓非常輕，但大型玻璃基板重量超過 10kg，因此需要能承受高負載的機器人技術。
T-Robotics 正同步開發真空腔體內部用移載機器人與大氣區段用非接觸機器人。大氣環境移載方式是以空氣讓玻璃基板懸浮約 0.2mm，其目的在於減少基板與機器人手臂的直接接觸。
公司將在大型 OLED 生產線累積的真空移載經驗視為核心基礎。其技術基礎即為大型 OLED 生產線的移載經驗，而 T-Robotics 也已供應第 4 世代至第 10.5 世代以上顯示器製程用真空移載機器人。
尤其是在 8.6 世代 OLED 製程中，已累積大型圓板與遮罩在高真空環境下的取放技術。8.6 世代 OLED 用真空移載機器人可處理不含叉具的最大 240kg 負載，並可對應最高 500℃ 環境，具備 5 軸結構。此外，X·Y·Z 軸重複精度為 ±0.5mm。安代表表示，公司透過在 8.6 世代 OLED 製程中處理 200kg 級遮罩與圓板，累積了高負載精密控制技術。
這類高負載、高溫、真空環境移載經驗，正被應用於玻璃基板設備開發。安代表說，公司正以該經驗為基礎，開發玻璃基板製程用真空與非接觸移載技術。
T-Robotics 正推動真空機器人與非接觸式常壓機器人同步供應策略。真空機器人負責在真空腔體內移載基板，非接觸式常壓機器人則負責在腔體外部處理基板。公司以玻璃基板製程為應用對象，構思串聯大氣區段與真空區段移載設備的方案。
安代表表示，公司可同時供應用於真空腔體內部移載的真空機器人，以及與外部 load lock 腔體連動的非接觸式常壓機器人。據悉，T-Robotics 擬藉由將真空與大氣區段所需機器人整合供應，擴大應對範圍。
T-Robotics 已在韓國、美國、中國與日本完成相關機器人結構專利登記。技術開發階段也已進入客戶評估階段。
目前 T-Robotics 正與國內主要半導體設備業者進行性能評估。評估方式為真空與大氣機器人結合形式。安代表表示，雖然具體內容保密，但公司正與國內主要半導體設備業者進行真空與大氣機器人結合評估。
T-Robotics 在進行國內評估的同時，也推動進軍中國市場。公司透過顯示器設備事業，已與 BOE、CSOT、天馬等中國面板業者建立交易關係，並已向中國供應 700 台以上真空機器人。公司計畫將既有客戶網絡與當地事業經驗延伸至玻璃基板領域。安代表表示，公司正以與 BOE、CSOT、天馬等中國主要顯示器面板業者的交易關係為基礎，推動與中國玻璃基板客戶的合作。
中國正在推動 8.6 世代 IT OLED 投資。當地也正進行與玻璃基板為基礎的先進封裝相關設備投資。在這股趨勢下，T-Robotics 企圖以在中國顯示器設備事業中建立的客戶關係與供應實績，進一步擴展至玻璃基板事業。
此次展會上，玻璃基板加工、鍍膜、貼合、檢查與移載相關設備也同步亮相。玻璃基板技術已進展至試產線與客戶評估階段。隨之而來的是，移載設備業者的參與範圍也在擴大。
T-Robotics 以在顯示器設備領域累積的技術與工廠自動化經驗為基礎，將應用領域擴大到半導體封裝與物流自動化，並以玻璃基板與自主移動物流機器人（AMR）推進新事業擴張。公司已將擴大領域設定為半導體封裝與物流自動化，並以顯示器用真空機器人的精密控制技術與工廠自動化經驗為基礎，計畫藉此推動事業結構多元化。
玻璃基板事業的下一步，是將正在進行的客戶評估延伸為實際供貨轉換。在這個過程中，公司認為可運用國內設備業者的驗證，以及在中國顯示器市場建立的客戶網絡，因此預期事業範圍將從既有顯示器設備擴大至半導體先進封裝設備。
來源: TECHWORLD · Kim Seung-gi 原文: https://www.epnc.co.kr/news/articleView.html?idxno=409142
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